ПОЛЯКОВ Вячеслав Викторович

Работа выполнена на кафедре микроэлектроники Государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" и в ЗАО "Нанотехнология МДТ", г. Зеленоград

Тема диссертации:

"Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп, совместимый с базовыми методами нанотехнологи"

Диссертация представлена на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 01.04.01 "Приборы и методы экспериментальной физики", технические науки, шифр совета: Д002.034.01. С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института аналитического приборостроения РАН.
Защита состоится в Институте аналитического приборостроения Российской Академии наук ,190103, С.-Петербург, Рижский пр., д.26 ,Тел .: (812) 251 - 73 - 10 Email: shch@iai.rssi.ru; iap@ianin.spb.su.

Предполагаемая дата защиты – 27 ноября 2009 года в 15-00.
Автореферат