Понедельник 27 июня 2022 г. 13:30 в конференц-зале Института аналитического приборостроения РАН по адресу: ул. Ивана Черных д. 31-33, лит. А, помещ. 514 состоится научный семинар.

Дворецкая Лилия Николаевна
(СПбАУ им. Ж.И.Алфёрова)

«Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур»
 

По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физ.-мат. наук.