logo IAI RAS
logo IAI RAS
08 июля 2022г.

 

Дворецкая Лилия Николаевна (АУ им. Ж.И. Алферова) представила в диссертационный совет 24.1.029.01 для рассмотрения и последующей защиты диссертацию на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 1.3.2 – «Приборы и методы экспериментальной физики».

Тема диссертации: «Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур».

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ул. Ивана Черных, 31-33, лит. А., Санкт-Петербург, 198095, а/я 140
тел.: (812) 3630719, факс: (812) 3630720, mail: iap@ianin.spb.su