Дворецкая Лилия Николаевна (АУ им. Ж.И. Алферова) представила в диссертационный совет 24.1.029.01 для рассмотрения и последующей защиты диссертацию на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 1.3.2 – «Приборы и методы экспериментальной физики». Тема диссертации: «Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур».
|