logo IAI RAS
logo IAI RAS
21 июня 2022 г.

 

Понедельник 27 июня 2022 г. 13:30 в конференц-зале Института аналитического приборостроения РАН по адресу: ул. Ивана Черных д. 31-33, лит. А, помещ. 514 состоится научный семинар.

 

 

Дворецкая Лилия Николаевна
(СПбАУ им. Ж.И.Алфёрова)

 

«Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур»
 

 

По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физ.-мат. наук.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

198095, Санкт-Петербург, ул. Ивана Черных, 31-33, лит. А
Почтовый адрес: Санкт-Петербург, 190103, а/я 207
тел.: (812) 3630719, факс: (812) 3630720, mail: iap@ianin.spb.su